I. Portadores de Wafer e Componentes de Transporte
• Nomes de materiais: PFA (resina perfluoroalcóxi), PEEK (polieteretercetona), PP (polipropileno), PC (policarbonato), PEI (polieterimida), PC/PVC antiestático, POM condutivo
• Componentes Típicos :
• Transportador/carrinho de transferência de wafers (resistente à temperatura, antiestático, baixa precipitação, usado para armazenamento e transporte de wafers)
• Wafer Boat (transportador de processo químico de alta temperatura, requer resistência ao desgaste e à corrosão química)
• Caixa de transferência de wafer com abertura frontal (alta transparência, baixa desgaseificação, protege a limpeza do wafer)
• Cassete Wafer (transporte em lote, baixa liberação de partículas)
• Vantagens de compatibilidade:
• PFA/PTFE: precipitação extremamente baixa de íons metálicos, garantindo processos de alta pureza
• PEI: Alta transparência, resistência a altas temperaturas (aproximadamente 170°C), adequado para janelas de visualização FOUP
• PC/PVC antiestático: Suprime danos eletrostáticos (ESD) • Aproximadamente 10⁶ Ω de magnitude, usado para manusear gabaritos
• POM condutivo/ESD para componentes de transporte que são mais sensíveis à eletricidade estática
II. Componentes de polimento químico-mecânico (CMP)
• Nomes de materiais: PEEK, PPS (sulfeto de polifenileno)
• Componentes Típicos:
• Anel de fixação CMP (fixa wafers/cristais de silício, resistente ao desgaste, quimicamente resistente, prolonga a vida útil)
• Suporte para aparador de almofada de polimento (mantém a morfologia da superfície da almofada de polimento e a estabilidade do processo)
• Vantagens de compatibilidade:
• PEEK: Resistência a altas temperaturas (aprox. 260°C), resistência química, adequada para CMP de alta carga
• PPS: Alta rigidez, fornece suporte estrutural estável
III. Componentes de vedação de processo e resistentes à corrosão
• Nomes de materiais: PTFE (politetrafluoroetileno), PFA, PVDF (fluoreto de polivinilideno), PEI
• Componentes Típicos:
• Revestimentos de tubulação/válvula (transporta ácidos fortes, álcalis e produtos químicos de alta pureza, liberação extremamente baixa de íons metálicos)
• Revestimentos do corpo da bomba/reservatório (armazenam soluções de corrosão, agentes de limpeza e outros meios corrosivos)
• Juntas e vedações resistentes à corrosão (resistência a...) (Para meios altamente corrosivos, como HF/HNO₃)
• Vantagens de compatibilidade:
• O PTFE/PFA é resistente a quase todos os ácidos e álcalis fortes, adequado para transporte de fluidos de alta pureza.
• O PVDF combina resistência química e UV, adequado para tanques de armazenamento farmacêutico.
• PEI tem baixa liberação de gás, compatível com salas limpas e componentes compatíveis com vácuo.
4. Componentes de limpeza e controle de contaminação de wafers
• Materiais: PFA, PTFE, PVDF, PEEK
• Componentes Típicos:
• Tanque/cesta de limpeza (resistente a altas temperaturas e ácidos/álcalis, reduzindo a contaminação secundária)
• Cartucho de filtro de gás (suporta meios de alta pureza, baixa liberação de impurezas)
• Componentes do sistema de pulverização química (resistentes à corrosão por pulverização química)
• Vantagens de compatibilidade:
• PTFE/PFA: Baixa precipitação, mantendo a limpeza do processo de limpeza
• PEEK: Resistente a altas temperaturas e produtos químicos, adequado para ambientes de limpeza em alta temperatura
V. Testes de embalagem e componentes de precisão
• Materiais: PEEK, PAI (poliamida-imida), PI (poliimida), PPS, PC
• Componentes Típicos:
• Soquete de teste (resistente a altas temperaturas, dimensionalmente estável, garantindo conexões elétricas confiáveis)
• Bandeja IC (suporte para embalagem e testes, baixa absorção de umidade, resistente à temperatura)
• Estrutura de suporte da placa de sonda (posicionamento de alta precisão, baixa expansão térmica)
• Componentes de Isolamento Elétrico (Isolamento e Proteção, Prevenindo Curtos-Circuitos e Vazamentos)
• Vantagens de compatibilidade:
• PEEK: Alta rigidez, resistência a altas temperaturas (aprox. 250°C), adequado para luminárias de precisão.
• PI/PAI: Resistência a altas temperaturas (aprox. 260°C+), adequada para componentes em ambientes extremos.
• PPS: Quimicamente resistente e de alta resistência, indicado para componentes estruturais com longa vida útil.
• PC Isolante: Combina isolamento e usinabilidade, adequado para carcaças e componentes estruturais.
VI. Outros componentes auxiliares
• Nomes de materiais: PC/PVC antiestático (janelas e folhas para salas limpas), POM (polioximetileno), PA66 (náilon 66), baquelite isolante (resina fenólica)
• Componentes Típicos:
• Janelas de salas limpas, painéis de equipamentos (antiestáticos, fáceis de limpar)
• Engrenagens de acionamento, rolamentos, trilhos-guia (autolubrificantes, baixo atrito, alta precisão)
• Componentes de suporte estrutural do equipamento (resistência ao impacto, estabilidade dimensional)
• Componentes estruturais de isolamento elétrico (suportes, juntas, aumentando a segurança e confiabilidade)
• Vantagens de compatibilidade:
• POM/PA66: Autolubrificante, de baixo atrito, melhorando a eficiência e a vida útil da transmissão.
• PC/PVC antiestático: Adequado para áreas sensíveis a ESD.
• Baquelite Isolante: Material isolante clássico, resistente ao calor e dimensionalmente estável.
VII. Considerações sobre seleção e compatibilidade
• Proteção ESD: Escolha soluções antiestáticas (resistência superficial de aproximadamente 10⁶–10⁹ Ω) ou condutivas (menor resistência superficial) de acordo com a área, garantindo a segurança do pessoal e do equipamento.
• Resistência química e limpeza: PTFE/PFA/PVDF são preferidos para processamento/decapagem/limpeza úmida; PEI/PPSU são considerados para alta limpeza e baixa liberação de gás.
• Temperatura e resistência: PEEK (aproximadamente 250°C) é preferido para fixação e isolamento em altas temperaturas; PI/PAI (aproximadamente 260°C+) é opcional para ambientes extremos.
• Precisão e resistência ao desgaste: POM/PA66 é preferido para engrenagens/deslizantes/rolamentos; PEEK é usado para cargas pesadas ou altas temperaturas.
• Vácuo e Compatibilidade: Materiais com baixa liberação de gases (como...) PEI/PPSU) Adequados para vácuo e ambientes de alta limpeza
VIII. Opções de entrega que oferecemos
• Gama de materiais: PEEK, PEI, PPSU, PSU/PES, PC, PP, PE, PTFE, PFA, FEP, PVDF, ETFE, PA66, POM, Baquelite, etc.
• Métodos de processamento: usinagem CNC de precisão, corte com máquina de gravação, dobra/ligação/soldagem a quente, etc.
